直播時間：6月11日 13:00-14:00

直播預告：

三菱重工工作機械的常溫晶圓鍵合裝置不僅可以使用于MEMS和CMOS中使用的Si的鍵合，還可以用于SAW濾波器和MicroLED等功率器件等中使用的LT、SiC、GaN等半導體化合物的鍵合。

此次直播中不僅為您介紹三菱重工機床的常溫晶圓鍵合裝置用于同種材料的鍵合，還将結合其無需加熱的特性，為您介紹鍵合膨脹系數不同的不同種材料的各個運用實例。

屆時，還會邀請三菱重工工作機械株式會社半導體晶圓鍵合裝置的專家為大家答疑。期待各位的踴躍參與！

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