直播時間：6月11日 13:00-14:00

直播預告：

三菱重工(gōng)工(gōng)作機械的常溫晶圓鍵合裝置不僅可以使用于MEMS和CMOS中(zhōng)使用的Si的鍵合，還可以用于SAW濾波器和MicroLED等功率器件等中(zhōng)使用的LT、SiC、GaN等半導體(tǐ)化合物(wù)的鍵合。

此次直播中(zhōng)不僅爲您介紹三菱重工(gōng)機床的常溫晶圓鍵合裝置用于同種材料的鍵合，還将結合其無需加熱的特性，爲您介紹鍵合膨脹系數不同的不同種材料的各個運用實例。

屆時，還會邀請三菱重工(gōng)工(gōng)作機械株式會社半導體(tǐ)晶圓鍵合裝置的專家爲大(dà)家答疑。期待各位的踴躍參與！

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